La fabricación de semiconductores es un proceso industrial que requiere una precisión extrema, con dependencia de las etapas del núcleo de agua ultrapura que abarcan las etapas del núcleo, como la limpieza de obleas, la fotolitografía, el grabado y la planarización mecánica química (CMP) . Sistemas de agua de alta intensidad para la industria de la microelicía de microelicones deben cumplir con los criterios atractivos que incluyen resistividad mayor que o igual a 18}}}}}} 2}}} 2. Carbono orgánico (TOC) menor o igual a 1 PPB . Cualquier ión o partículas residuales puede reducir el rendimiento de los chips. Aprovechando su tecnología de membrana cerámica a nivel mundial y su proceso de membrana, Taihe Ambient Protection Provides soluciones altamente estables paraSistema de ósmosis inversa de semiconductoresS, apoyando efectivamente la seguridad de la calidad del agua en las cadenas de suministro de semiconductores nacionales .
Avance tecnológico del proceso de membrana
La tecnología central de Taihe: el "proceso de membrana All-membrana para tratar el concentrado de ósmosis inversa y las aguas residuales circulantes", fue certificado por la Asociación de la Industria de Membrana de China como "Nivel avanzado internacionalmente" . Esta tecnología emplea una tecnología emplea a unidades de membrana ultrafiltración de cerámica tubular especializada (GM) para reemplazar tres pasos de pretratación de cañas ("Alkali + Sandrafiltración + Sandrafiltración + Sandrafiltración + Unidades de Membrana de Cordenas de Sandrafiltración + Sandsfiltratación + Sandsfiltratación + Sandsfiltration + Sandsfiltration + Sandsfiltration + Sandsfiltration + Sandsfiltration + Sandsfiltration + Sandsafiltración + ultrafiltration") in a single process, significantly simplifying workflows while enhancing antifouling capabilities . Ceramic membranes, fabricated from nanocomposites, exhibit pollution resistance, strong alkali tolerance, and high flux . In ultrapure water for semiconductor manufacturing, they substantially reduce operational costs and decrease effluent Dureza .
Salvaguardas de aplicaciones en etapas de proceso clave
- limpieza de obleas y cmp:El sistema de ósmosis inversa de agua ultra pure debe eliminar completamente las partículas y los iones metálicos para evitar defectos de la superficie de la oblea . El pretratamiento de la membrana cerámica de la membrana cerámica de Taihe intercepta eficientemente partículas mayores o iguales a 0 .} 1 μM, proporcionando un bajo sistema de alimentación de SDI (Índice de densidad de silt) para el inverso de flujo de flujo de tiempo de alimentación SEDUCTOR SEGUCURADOR SEDUCTOR SEGUCURADOR SEGUCURADOR. Operación de membrana.
- Enjuague fotorresistente:La fotolitografía es altamente sensible a TOC . El sistema de Taihe sinergia las membranas cerámicas con esterilización ultravioleta para controlar TOC dentro de 1 PPB, cumpliendo con el requisito de "tolerancia cero" para los orgánicos en el rinsing fotorresistente .
- Reutilización de aguas residuales de grabado y CMP:For high-turbidity CMP wastewater, its ceramic membrane units demonstrate strong impact resistance, treating high-salinity wastewater with hardness >1.200 mg/L a tasas de recuperación del 95%, reduciendo drásticamente el consumo de agua dulce .
Inteligentización y prácticas verdes bajas en carbono
Taihe integra los sistemas de control integrados a gran escala de DC (sistema de control distribuido) en el sistema de purificación de agua ultrapura, permitiendo el monitoreo en tiempo real de los parámetros de calidad del agua y la optimización de energía . su "proceso total de la membrana para los equipos de reutilización de agua reclutado", se enumeró en los procesos sostenidos de la tecnología de Shandong, el Catálogo de la tecnología a bajo aficionado, reducción de la tecnología de carbono a través de los emisiones de carbono a través de los emisiones de los streamlados en el sorteo, en la lista de los procesos de la tecnología de shandong, las necesidades de la tecnología de los standing, las necesidades de la tecnología de los streamlados, las necesidades de la tecnología de la tecnología de los standong. En el sector semiconductor .
Conclusión
Como procesos avanzados (e . g ., 5nm, 3nm) intensifican los requisitos de calidad del agua,Sistema de ósmosis inversa de semiconductoresS debe impulsar continuamente los límites de la pureza . basarse en su tecnología de membrana cerámica "internacionalmente avanzada", Taihe está acelerando I + D en las membranas de cerámica ultrafiltración de cerámica de alto flujo para las aplicaciones electrónicas de agua de alta pureza, la cadena de pretratamiento más adicional y la mejora de la eficiencia del agua de los productos . innovaciones futuras de las futuras innovadoras, el suministro de suministro de productos de productos más altos, lo que establece el semicontorio, lo que establece la Cadena de semiconda de los productos, lo que establece la Cadena de semiconda, lo que establece la Cadena de suministro de productos de productos, se establece más en el semiconducto, establece la Cadena de Semiconudas de la Cina de los Productos. Los puntos de referencia tecnológicos confiables de carbono inferior para los sistemas de agua de alta pureza para la industria de microelectrónica .